IEEE EDS Japan Chapter 会員各位

IEEE EDS Kansai Chapter 会員各位

IEEE SSCS Japan Chapter 会員各位

IEEE SSCS Kansai Chapter 会員各位

IEEE Electron Devices Society Japan Chapter

Chair 鳥海 明

Vice Chair 最上徹

2013 ICMTS が以下の通りEDS主催で開催されますのでご案内申し上げます。

奮って御参加下さい。

■■■ ICMTS2013開催のお知らせ ■■■

第26回 International Conference on Microelectronic Test Structures

(ICMTS)が、2013年3月25から28日の4日間、大阪大学中之島センターで開催

されます。

ICMTSは、プロセス、デバイス開発、回路設計、製品の量産などに必要不可欠

な評価手法について議論する学会です。 今年は、25日にチュートリアルがあ

り、26日から40の論文が10のセッションで発表され、同時に測定装置の機器

展示も行われます。内容は、Siデバイスに限らず、有機デバイスやMEMSなど

多岐に渡っており、メモリーやパワーデバイス、高周波応用、TSVを用いた3D

構造、ばらつき、ノイズ、パラメータ抽出等に関して評価TEGや評価手法が紹

介されます。

プログラムの詳細及びレジストレーションに関しましては、

http://www.if.t.u-tokyo.ac.jp/ICMTS13/

にアクセスをお願い致します。

大阪大学中之島センターへは大阪駅からバス、電車で行くことができます。

行き方につきましては、http://www.onc.osaka-u.ac.jp/ で御確認下さい。

また、宿泊施設につきましては、リーガロイヤルホテルをICMTS2013参加者用

の特別価格で御提供させて頂きますので、どうぞ、御検討下さい。

是非、皆様と大阪で将来の評価TEGや評価手法について議論したいと思いま

す。

皆様の御参加をお待ちしております。

2013 ICMTS General Chairman

大黒 達也

株式会社東芝 半導体研究開発センター

新規デバイス技術開発部

〒235-8522

横浜市磯子区新杉田町8(横浜事業所)

E-mail : tatsuya.ooguro@toshiba.co.jp

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ED-15 Secretary

東京大学 大学院工学系研究科

マテリアル工学専攻

喜多浩之

TEL./FAX. 03-5841-7164

kita@scio.t.u-tokyo.ac.jp

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